CHELMSFORD, Mass., 20 iulie 2001 – Brooks Automation, producător principal de accesorii şi soluţii de automatizare hardware şi software pentru industria mondială de semiconductoare, îşi întăreşte poziţia de lider în tehnologiile de automatizare pentru semiconductoare cu InLine Express – un produs care transferă stratificarea de la EFEM către un modul de proces, fără necesitatea unei camere de vid centrale, aceasta având ca rezultat reducerea cu 40% faţă de procedeul standard cluster. InLine Express oferă componente mult mai sigure ca până acum, o calitate foarte bună în mod constant şi un întreg set de opţiuni pentru a îndeplini cerinţele interfeţei cu produsul pentru fabricile din întreaga lume.
Cu InLine Express, Brooks oferă acum un domeniu mai larg de arhitecturi pentru optimizarea costurilor şi eficienţei pentru fiecare tip de aplicaţie. InLine Express foloseşte componente Brooks verificate, cum ar fi robotul MagnaTran 7 şi FabExpress EFEM, pentru optimizarea sistemului pentru aplicaţii de proces într-o singură etapă. Aceasta permite clienţilor OEM cu produse de proces multiple să folosească aceleaşi blocuri constructive pentru a realiza un aparat care să îndeplinească necesităţi particulare.
InLine Express este FabReady şi este proiectat pentru integrarea cu software-ul MES de la Brooks. Este caracterizat de Express Lock, un load lock foarte mic, cu 2 sau 3 etaje, cu braţ robotic de înaltă viteză incorporat. Mai incorporează şi o interfaţă integrată pentru metrologie, care permite tehnologiei OEM de proces să integreze module de metrologie. Varianta la cheie cu software de control şi supervizare îndeplineşte standardele SEMI 300mm, cum ar fi E84, CID şi urmărirea stratificărilor. InLine Express poate fi de asemenea legat cu APC Suite de la Brooks pentru controlul cu reacţie al procesului.
Brooks Automation este producătorul mondial de primă mărime pentru accesorii de automatizare OEM şi software de management pentru industria de semiconductoare, stocare de date şi monitoare plate. Ca lider al pieţei de software şi hardware de automatizare, Brooks continuă pionieratul în tehnologiile “Best-in-Class” pentru a întrece competitorii – de la roboţi de vid şi atmosferici, platforme şi module cluster, medii foarte curate pentru izolarea proceselor de stratificare şi de echipare, până la software pentru automatizări şi integrarea serviciilor. Atât clienţii OEM cât şi fabricile susţin produsele şi mediile Brooks Automation. Compania are certificare ISO 9001, are cartierul general în Chelmsford, MA şi are operaţiuni directe în Statele Unite, Canada, Europa, Japonia, Coreea, Malaiezia, Singapore şi Taiwan. Pagina de web a companiei este www.brooks.com.